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日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

更新時間:2024-06-25

簡要描述:

日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
DF550C是基于DF200C基礎(chǔ)上的金屬密封產(chǎn)品,它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常適用于
高真空、強(qiáng)腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合

廠商性質(zhì):代理商點(diǎn)擊量:2101
日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)地進(jìn)口加工定制
質(zhì)保1年

日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
DF550C是基于DF200C基礎(chǔ)上的金屬密封產(chǎn)品,它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常適用于
高真空、強(qiáng)腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合

泄漏率:1*10-11pa·m³/s以下

金屬密封,適用于對泄漏率有高要求場合

日本科賦樂金屬密封數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù):

 

量程(N2)

10SCCM-10SLPM

氣體

所有氣體

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.25%FS

有效范圍

2-

響應(yīng)時間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進(jìn)口大壓力

0.5Mpa

工作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5~50℃

精度保證溫度

15~35℃

保存溫度

-10~60℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

 

密封圈SUS316L

電氣接口

DB9

通訊接口

RJ45

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+24VDC(±10%)300mA;±15VDC(±10%)300mA

管路連接

標(biāo)配1/4UJR

   

重量

約1100g

 

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