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日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間:2024-06-25

簡(jiǎn)要描述:

日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

廠商性質(zhì):代理商點(diǎn)擊量:2002
日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)地進(jìn)口加工定制
質(zhì)保1年

日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內(nèi)部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質(zhì)
±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用
適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù):

 

量程(N2)

1SCCM-20SLPM

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.2%FS

響應(yīng)時(shí)間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進(jìn)口大壓力

O.3Mpa

動(dòng)作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

內(nèi)拋光

Ra≤0.1

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

 

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號(hào)

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標(biāo)配1/4UJR

 

選配1/8UJR

重量

約1000g

 

    ★使用注意

 

一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。

五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

 

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