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科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器

更新時間:2024-06-24

簡要描述:

科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下,±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用

廠商性質:代理商點擊量:14593
科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器
產地進口加工定制
質保1年

日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的概述:

3660系列設計精密,成本較低。廣泛用于各個不同的領域從實驗室和研究開發(fā)項目到各種儀器設備的標準采用機種發(fā)揮了很好的實際效果,另外還有有各種衍生功能可選

日本科賦樂KOFLOC-3660質量流量控制器的性能參數


3660

3665

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-150SLPM

精度

±1.0%FS

±1.5%FS

有效范圍

2-

5-

重復性

±0.5%FS

響應時間

2秒

3秒

動作壓差

50-300Kpa

150-300Kpa

另有低壓差、高壓差產品可選

耐壓

1.0Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON,選配NBR或FKM

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)250mA;

管路連接

標配1/4F9

標配3/8F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

約1000g

約1500g

日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器

金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m3/s以下

適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用

電氣連接


5400質量流量控制器

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM)

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.3Mpa

動作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m3/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約1000g

電氣連接

針腳/顏色

定義

1針腳/棕色

閥門全開/全閉

2針腳/白色

0-5V輸出

3針腳/紅色

+15VDC

4針腳/黑色

電源COM

5針腳/黃色

-15VDC

6針腳/灰色

0-5V輸入

7針腳/綠色

輸出COM

8針腳/蘭色

輸入COM

9針腳/紫色

閥門電源輸出

日本科賦樂KOFLOC質量流量控制器使用注意:

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力3公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。




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