在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、超純水制備等高精度工業(yè)領(lǐng)域，液體流量測量的精準(zhǔn)性與耐腐蝕性直接關(guān)乎產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全。FM31系列PFA材質(zhì)液體質(zhì)量流量控制器，以突破性技術(shù)設(shè)計重新定義行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，成為苛刻工況下的流量監(jiān)控方案。

一、材質(zhì)革新：PFA打造耐蝕金身，無懼強(qiáng)酸強(qiáng)堿

FM31系列核心部件采用聚全氟乙丙烯（PFA）材質(zhì)，兼具聚四氟乙烯（PTFE）的化學(xué)惰性與氟樹脂的加工性，可耐受濃硫酸、氫氟酸等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，同時抵御有機(jī)溶劑、氧化劑的侵蝕。接液部分無O型密封圈設(shè)計，消除橡膠老化導(dǎo)致的泄漏隱患，在半導(dǎo)體工藝中可精準(zhǔn)監(jiān)控光刻膠、蝕刻液等特殊流體，在生物醫(yī)藥領(lǐng)域可安全計量培養(yǎng)基、藥液等敏感介質(zhì)，為高純度、高潔凈度生產(chǎn)流程保駕護(hù)航。

二、結(jié)構(gòu)精簡：渦流傳感+零動件，構(gòu)建超穩(wěn)測量系統(tǒng)

傳統(tǒng)流量計因機(jī)械部件磨損易導(dǎo)致精度衰減，而FM31系列創(chuàng)新性采用無移動部件設(shè)計：渦流發(fā)生器產(chǎn)生穩(wěn)定渦旋場，渦流檢測器通過非接觸式電磁感應(yīng)捕捉流體動態(tài)，將流速信號直接轉(zhuǎn)換為電信號輸出。這一結(jié)構(gòu)不僅消除機(jī)械振動干擾，更使壓力損失降低至傳統(tǒng)產(chǎn)品的1/3，在0.4L/MIN微小流量下仍保持±0.5%FS的高精度。LED顯示屏實時顯示瞬時流量與累計值，操作人員無需額外設(shè)備即可完成現(xiàn)場調(diào)試與監(jiān)控，顯著提升生產(chǎn)效率。

三、場景適配：多行業(yè)解決方案，全流程品質(zhì)保障

從超純水制備系統(tǒng)的流量監(jiān)控，到半導(dǎo)體晶圓清洗工藝的化學(xué)藥劑配比，FM31系列憑借以下優(yōu)勢成為行業(yè)標(biāo)配：

· CE認(rèn)證合規(guī)性：通過歐盟安全認(rèn)證，符合工業(yè)設(shè)備電磁兼容標(biāo)準(zhǔn)，可無縫接入全球自動化系統(tǒng)；

· 無粒子污染設(shè)計：PFA材質(zhì)表面光潔度達(dá)Ra0.2μm，無金屬析出風(fēng)險，滿足半導(dǎo)體級潔凈度要求；

· 安裝自由度：緊湊型設(shè)計節(jié)省60%安裝空間，支持水平、垂直、傾斜多角度安裝，適應(yīng)復(fù)雜管路布局。

四、技術(shù)迭代：FM31系列對FM01的全面超越

作為FM01系列的升級之作，F(xiàn)M31系列在接液材質(zhì)、顯示功能、壓力等級三大維度實現(xiàn)突破：接液部升級為全PFA材質(zhì)，耐溫范圍擴(kuò)展至-50℃~150℃；新增LED數(shù)字顯示屏，支持4-20mA模擬信號與Modbus RTU數(shù)字信號雙輸出；壓力承受能力提升至2MPa，可穩(wěn)定運(yùn)行于高壓輸送場景。這些升級使設(shè)備在光伏電池片生產(chǎn)、集成電路封裝等高精度工藝中的適用性大幅提升。

在工業(yè)4.0時代，F(xiàn)M31系列PFA液體質(zhì)量流量控制器以“耐蝕性+精準(zhǔn)度+穩(wěn)定性”三重優(yōu)勢，重新定義液體流量監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)。無論是半導(dǎo)體制造的納米級工藝控制，還是生物醫(yī)藥的GMP合規(guī)生產(chǎn)，這款設(shè)備都將成為保障產(chǎn)品品質(zhì)、提升生產(chǎn)效能的核心利器。選擇FM31系列，即是選擇未來工業(yè)的可靠伙伴。